半導体・有機EL・太陽電池といった最先端分野において、プロセス開発から量産立上げまで一貫して主導た。

半導体・有機EL・太陽電池といった最先端分野において、プロセス開発から量産立上げまで一貫して主導 してきました。特にスパッタリングを中心とした真空成膜プロセスに精通し、膜厚均一性・光学特性・密着 性の最適化を実現するとともに、電気設計・制御設計の観点からプロセスの再現性と量産安定性を確立して きました。 装置開発では、構想設計から要素技術評価、量産化に向けた工程設計までを一貫して担当。計装設計・制御 盤設計・展開接続図の作成を含む電気設計全体をリードし、歩留まり改善・タクト短縮・コスト削減を同時 に実現してきました。特に、温度・圧力・流量などのプロセスパラメータを統合的に制御するシステム設計 に強みがあり、光学用途・機能性薄膜に求められる高いプロセス安定性を達成しています。 制御設計エンジニアとしては、PLC（MELSEC・KEYENCE・OMRON）によるシーケンス／モーション制御に...